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Advanced Energy®的 OR400M光學(xué)高溫計(jì)將Sekidenko產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴(kuò)展至3.3um-5.2um的中紅外波長(zhǎng)范圍。OR400M可進(jìn)行單通溫度測(cè)量，用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測(cè)量，用于硅片，腔室的精確測(cè)溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計(jì)緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應(yīng)用的要求。
更新時(shí)間：2024-07-03
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更新時(shí)間：2024-06-26
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更新時(shí)間：2024-07-08
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